Желтый свет для литографа: как мы реализовали нестандартный проект локальной чистой зоны (ЛЧЗ) с внутренними размерами 2500×2000х2000 мм за минимальные сроки.
ООО «Айфармтех» оказала услуги по проектированию и монтажу локальной чистой зоны класса ИСО 6 (ЛЧЗ) для размещения литографа в г.Нижний Новгород.
Ключевые требования Заказчика:
- Организация желтого света внутри чистой зоны;
- Использование желтых ПВХ ламелей по периметру ЛЧЗ
- Соответствие классу чистоты ИСО 6
Технические характеристики локальной чистой зоны ИСО 6:
| Габариты внешние | 2600х2100х2425 мм (ШхГхВ) |
| Габариты внутренние | 2500x2000x2000 мм (ШхГхВ) |
| Материал каркаса | сталь с полимерным порошковым покрытием RAL 9010 |
| Материал стен | антистатические акриловые завесы 2.0 мм (желтые) |
| Фильтромодули (ФВМ) | Модель SB-1175; 2 шт. размер 575х1175х425 мм в составе высокоэффективный фильтр H14 размер 570х1170х69 мм, 99,995%@3мкм и предварительный фильтр G4 495x495x21 мм) Производительность одного филтромодуля: до 1000 м3/ч при 45 м/с Номинальная мощность: 150 Вт |
| Освещение | LED 2 шт по 36 Вт, освещенность 300 люкс, желтый свет; |
| Общий расход воздуха | 2000 м3/ч |
| Общая мощность установки | 420 Вт |
| Блок управления | -вкл/выкл ФВМ – вкл/выкл освещения |
| Параметры питания | 220 В 50 Гц 1 фаза |
Литографы работают с фоторезистами — светочувствительными полимерными материалами. Эти материалы «засвечиваются» под воздействием синего и ультрафиолетового спектра обычного белого света, что необратимо портит рисунок интегральной схемы на кремниевой пластине. Желтый свет (с длиной волны >500 нм) абсолютно безопасен для фоторезиста, позволяет производить микрочипы высокого качества.
Почему ламели тоже желтые?
Обычные прозрачные или синие ПВХ-шторы пропускают внешний дневной или искусственный свет, который содержит ту самую опасную синюю составляющую. Желтые ламели выполняют функцию светофильтрации: гасят «вредный» спектр, сохраняя желтую гамму внутри.
Сегодня локальная чистая зона для литографа работает в штатном режиме. Фоторезист не «засвечивается», требования по чистоте воздуха соблюдены, а операторы комфортно работают в благоприятном желтом свете.
Сроки реализации проекта локальная чистая зона ISO 6
Производство и доставка: 35 рабочих дней
Монтаж, пуско-наладка и валидация: 2 рабочих дня.
Нужна локальная чистая зона под ваши задачи – свяжитесь с нами по телефону +7 (910) 712-92-36 либо отправьте запрос на электронную почту info@ipharmtech.ru.
Спроектируем, изготовим и смонтируем локальную чистую зону под Ваши технологические задачи.